原子發(fā)射光譜是一種利用受激發(fā)氣態(tài)原子或離子所發(fā)射的特征光譜來測(cè)定待測(cè)物質(zhì)中元素組成和含量的方法。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜（ICP-OES）
電感耦合等離子體焰矩溫度可達(dá)6000~8000K，當(dāng)將試樣由進(jìn)樣器引入霧化器，并被氬載氣帶入焰矩時(shí)，試樣中組分被原子化、電離、激發(fā)，以光的形式發(fā)射出能量。不同元素的原子在激發(fā)或電離時(shí)，發(fā)射不同波長(zhǎng)的特征光譜，故根據(jù)特征光的波長(zhǎng)可進(jìn)行定性分析；元素的含量不同時(shí)，發(fā)射特征光的強(qiáng)弱也不同，據(jù)此可進(jìn)行定量分析。
| 工作氣 |
吹掃氣 |
被測(cè)物質(zhì) |
分析范圍 |
關(guān)鍵雜質(zhì) |
| 氬氣 |
氮?dú)?/td>
| 從鋰到鈾的元素 |
μg/L (ppb) - g/L |
水，氧 |
電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）
在氬氣等離子體中電離樣品并激發(fā)離子 ,測(cè)量產(chǎn)生的離子的質(zhì)量。
| 工作氣 |
被測(cè)物質(zhì) |
分析范圍 |
關(guān)鍵雜質(zhì) |
| 氬氣 |
從鋰到鈾的元素 |
mg/L- ng/L(ppt) |
水，氧 |
X射線熒光光譜儀(XRF)
利用初級(jí)X射線光子或其他微觀粒子激發(fā)待測(cè)樣品中的原子，使之產(chǎn)生熒光(次級(jí)X射線)而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)形態(tài)研究。
| 工作氣 |
被測(cè)物質(zhì) |
分析范圍 |
關(guān)鍵雜質(zhì) |
| 氬甲烷混合氣 |
從鈉到鈾的元素 |
% - ppb |
水、氧、碳?xì)浠衔?/td>
|
化學(xué)發(fā)光檢測(cè)器（CLD）
在NO模式，當(dāng)氣樣中的NO和O3（臭氧）反應(yīng)生成NO2時(shí)，大約有10%的NO2處于激化狀態(tài)（以NO2表示）。這些激態(tài)分子向基態(tài)過渡時(shí)，發(fā)射出波長(zhǎng)590～2500nm的光量子hv，其強(qiáng)度與NO量成正比，利用光電倍增管將這一光能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)輸出可推算出NO濃度。
在NOx模式，樣氣首先進(jìn)入NOx轉(zhuǎn)換裝置，樣氣中的NOx包括NO和NO2，其中的NO2在此轉(zhuǎn)換成NO，全部的NO經(jīng)反應(yīng)、檢測(cè)，輸出一個(gè)正比于NOx的直流電流，數(shù)字面板表顯示NOx的濃度。
| 零氣 |
工作氣 |
標(biāo)準(zhǔn)氣體 |
被測(cè)物質(zhì) |
分析范圍 |
關(guān)鍵雜質(zhì) |
| 氮?dú)?/td>
| 氧氣或空氣
（用于產(chǎn)生臭氧） |
氮中一氧化氮
(NO in N2) |
NO, NO2, NOx |
0.1% - ppm |
N2, NOx |
紫外熒光光譜儀（UVF）
當(dāng)紫外光射過待測(cè)氣體時(shí)，氣體中濃度很低的SO2分子受紫外光的激發(fā)成為激發(fā)態(tài)，分子在返回基態(tài)的過程中發(fā)射出熒光。在測(cè)量氣室的上方，通過石英凸透鏡收集熒光并使其穿過窄帶干涉濾光片，被光電倍增管接收。電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)使兩個(gè)濾光片交替透射熒光，在間隔很短的時(shí)間產(chǎn)生兩個(gè)采樣波段不同的熒光電信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)通過信號(hào)處理系統(tǒng)的放大，運(yùn)算，最后轉(zhuǎn)換成二氧化硫的濃度顯示出來。
| 零氣 |
吹掃氣 |
標(biāo)準(zhǔn)氣體 |
被測(cè)物質(zhì) |
分析范圍 |
關(guān)鍵雜質(zhì) |
| 氮?dú)?/td>
| 氮?dú)?/td>
| 氮中二氧化硫
(SO2 in N2) |
SO2 |
100 - 0.1 ppm |
SO2 |
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